개요
▶ 대상 표면에서 프로브까지의 거리는 1mm에서 80mm로 권장되며 측정영역은 약 3mmØ 입니다.
1mmØ 핀홀 부착이 추가적으로 준비되어 있습니다.
긴 작업 거리에 더 큰 프로브를 사용할 수 있습니다.
▶ 필름 두께의 반복성은 다음과 같다. 측정 시간은 1초 미만입니다.
▶ 최대 레이어 수는 실제 필름 구조와 파장 범위에 따라 다릅니다.
▶ 유효 매체 근사(EMA) 이론 및 유전 함수는 재료 분석에 사용할 수 있습니다. 박막의 경우 어려워집니다.
EMA를 이용한 복합재료의 혼합비율 평가
광학 상수의 결정도 그리고 분석
▶ 가장 좋은 광원은 대상 필름 두께와 구조에 따라 다릅니다.
▶ 백색 LED 광원에서 사용할 수 있습니다. 전원은 리튬 이온 배터리와 함께 공급됩니다.
데이터는 Wi-Fi를 통해 통신됩니다.
▶ 매핑은 최대 300mm 웨이퍼 크기까지 사용할 수 있습니다.
| 실내 온도 | : 18 내지 45 °C |
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| 장기 | : < ±2.0°C/24시간 |
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| 단기 | : < ±1.0°C/1시간 |
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| 습도 | : 45±20% (결로 현상 없음)
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